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真空管的历史可溯自灯泡的发明人汤玛斯·爱迪生(Thomas Alva Edison)。1880年某日,他好奇地在灯泡中多放了一个电极,且洒了点箔片,结果发现了奇特的现象:第三极通正电时,箔片毫无反应;但通负电时,箔片随即翻腾漂浮。当时爱迪生不知道此现象的起由,但由于他不经意的发现,这个现象后来被称为爱迪生效应。一直到1901年,欧文·理查森提出定律,说明电子的激发态引起箔片漂浮,后更以此拿到1928年的诺贝尔物理奖。接着约翰·阿布罗斯·佛莱明(John Ambrose Fleming)在1904年发展出二极管,李·德佛瑞斯特(Lee De Forest)更在1907年作出第一个三极管。
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